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真空泵 Vacuum
Pump
螺杆式干泵 , 无油涡旋泵 , 分子泵
低温泵 , 离子泵 , 罗茨泵 , 油旋片泵
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电源 Plasma Power
Generator
DC 直流电源
RF 射频电源
MF 中频电源 |
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质量流量控制器/压力控制器
Mass Flow Controller/Pressure Controller
气体 质量流量计 / 控制器
液体 质量流量计 / 控制器
气体 / 液体混合器
压力计 / 控制器 |
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真空管接件和阀门 Vacumm Fitting ＆Valve
中心圈 , 卡环 , 法兰 , 盲板 , 波纹管
转接头 , 弯头 , 三通 , 四通
90 度角阀 ,180 度角阀 |
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气体管接件和阀门 Gas Fitting ＆Valve
SWG 双卡套接头 , VCR 接头
球阀 , 波纹管阀 , 隔膜阀
单向阀 , 针阀 , 调压阀 , 过滤器 |
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抗腐真空泵油 Anti-corrosive Pump Oil
美国紫皇冠 Acivac TM
68 号抗腐真空泵油 |
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真空计 Vacuunm Gauge Controller
测量范围： 1 × 10 -3 ~9.9 × 10 2 Torr
可选择 mbar/Torr 作为测量单位
二点继电器控制设置
供电范围： 90~260Vac |
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氦质谱检漏仪 Helium Leak Detector
A-210M-LD
测量范围： 10 -12 ~10 -3 Pa.m 3 /s
真空泵抽速： TMP50L/S RP0.5L/S
A-221M-LD
测量范围： 10 -11 ~10 -2 Pa.m 3 /s
真空泵抽速： TMP50L/S DP5L/S
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